株式会社村田制作所（以下简称“本公司”）开发了工业设备专用高精度数字MEMS陀螺仪加速度组合传感器“SCC400T系列（以下简称‘本产品’）”，并于2022年10月启动了量产。

随着工业设备无人化与自动化的加速，准确获取物体位置及倾斜变化等数据的需求不断增加。此外，随着工业设备的高功能化，搭载的模块亦不断增多，从而要求传感器自身的小型化。

鉴于此，本公司采用MEMS技术开发了本产品，实现了陀螺仪传感器和加速度传感器的小型封装。通过组合5DoF陀螺仪加速度传感器与1DoF陀螺仪传感器的产品阵容，也可提供6DoF解决方案。陀螺仪传感器X/Z轴的测量范围均为±300°/s，加速度计不仅可测量1次输出±6g，还可测量2次输出±8g。